半导体化学

研究半导体材料及器件的制造和特性的一门化学学科。其主要内容包括半导体材料的晶体生长化学、晶体杂质和缺陷化学、扩散过程、表面化学、溶液化学、电化学、光电化学和等离子体腐蚀等。